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眼大无光   发表于 2020-6-2 23:58:36 |栏目:书籍推荐 |
  • 书籍名称 :微机电系统 (MEMS) 制造技术
  • 编著人员 : 苑伟政、乔大勇 著
  • 出版单位 : 隐藏内容
  • 出版时间 : 2014
  • 涉及领域: 电气机械建筑书籍
  • 推荐等级: ★★★
微机电系统 (MEMS) 制造技术
  《微纳制造的基础研究学术著作丛书:微机电系统(MEMS)制造技术》主要论述微机电系统(MEMS)制造技术,全书共9章。第1章阐述MEMS制造技术的定义、发展历程和发展趋势;第2章介绍MEMS制造的材料基础;第3章阐述MEMS制造中的沾污及洁净技术;第4章阐述包括光刻技术和软光刻技术在内的图形转移技术;第5章阐述湿法腐蚀与干法刻蚀技术;第6章阐述氧化、扩散与注入技术;第7章介绍各种薄膜制备技术;第8章介绍包括表面牺牲层工艺、体加工工艺和混合工艺在内的MEMS加工标准化工艺;第9章阐述MEMS的芯片级和圆片级封装工艺。《微纳制造的基础研究学术著作丛书:微机电系统(MEMS)制造技术》结合大量设备操作实例和工艺实例,贴近实践,易于理解。同时,考虑到MEMS加工工艺过程涉及大量化学品的使用,还专门以附录的形式对MEMS制造常用化学品物质安全资料表和基本化学品安全术语进行了介绍。

  《微纳制造的基础研究学术著作丛书:微机电系统(MEMS)制造技术》适合作为MEMS相关专业研究生教材,也可供相关领域的科技人员阅读参考。
微机电系统 (MEMS) 制造技术- 一起下吧
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nxBFromnowon

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沙发
nxBFromnowon   发表于 2020-6-11 06:52:26 |栏目:书籍推荐
额,為神馬現在才發現一起下吧的資源啊~@_@

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king_gx

氦级

板凳
king_gx   发表于 2020-6-19 08:04:29 |栏目:书籍推荐
这个資源一般般,不過我喜歡

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李宁LN

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地板
李宁LN   发表于 2020-6-26 12:53:59 |栏目:书籍推荐
啥也不说了,感谢一起下吧和楼主的分享哇!

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kluge0729

氦级

5#
kluge0729   发表于 2020-7-3 08:18:50 |栏目:书籍推荐
珍惜生命,果断回帖;酌一杯清茶,品一起下吧资源

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qwezxc

氦级

6#
qwezxc   发表于 2020-7-9 21:34:57 |栏目:书籍推荐
额,為神馬現在才發現一起下吧的資源啊~@_@

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tianjin416

氦级

7#
tianjin416   发表于 2020-7-16 22:38:48 |栏目:书籍推荐
這個資源非常需要,支持一起下吧!

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LaLaLa

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8#
LaLaLa   发表于 2020-7-25 08:27:13 |栏目:书籍推荐
么有分,谁能送我点搬砖数值啊::>_<::

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澹然乐忘

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9#
澹然乐忘   发表于 2020-8-5 03:05:56 |栏目:书籍推荐
我帶著醬油瓶路過一起下吧的,還是忍不住小手一抖!

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blade

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10#
blade   发表于 2020-8-13 15:53:37 |栏目:书籍推荐
么有分,谁能送我点搬砖数值啊::>_<::

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