《扫描电镜和能谱仪的原理与实用分析技术》施明哲编 电子工业出版社
《扫描电镜和能谱仪的原理与实用分析技术》是介绍扫描电镜和X射线能谱仪的原理和应用的专业书籍，全书共有两篇。第一篇主要介绍了扫描电镜的基本原理，包括扫描电镜的国内外发展历程、电镜的基本原理和结构、实际应用中常见的一些成像技术和具体应用、样品的处理、电镜日常的维护及保养，还介绍了电镜安装场地和环境的基本要求及相关参数。第二篇主要介绍能谱仪的基本原理、结构和实际的应用技术，包括Si（Li）与SDD两种不同的检测器。最后还简单地介绍了传统的罗兰圆和新型的平行光波谱仪的工作原理及其各自的特点
前言
符号和术语的说明
目录
上篇 扫描电镜的原理与实用分析技术
第1章 光学显微镜和电子显微镜的发展回顾及其成像方式的比较
第2章 扫描电镜的原理和结构
第3章 扫描电镜的主要探测器及其成像
第4章 扫描电镜的实际操作
第5章 试样的制备
第6章 应用图例
第7章 电镜的维护与保养
第8章 电子显微镜的安装环境和要求
第9章 展望将来的扫描电镜
附录A 压力单位的换算表
附录B 几个真空技术的主要术语和含义
附录C 与电镜分析有关的部分标准
下篇 能谱仪的原理与实用分析技术
第10章 X射线显微分析仪的发展概况及X射线的定义和性质
第11章 能谱仪（EDS）的工作原理
第12章 入射电子与物质的相互作用及X射线的产生
第13章 X射线的探测限和假峰
第14章 电镜参数的选择
第15章 能谱的定性和定量分析简述
第16章 谱峰的失真与外来干扰
第17章 谱仪的性能指标
第18章 硅漂移X射线能谱探测器
第19章 X射线波长的探测与波谱仪
附录D 可视化重叠峰剥离功能
附录E 入射电子束的加速电压与相应的激发深度
附录F 由于假峰而引起误判的有关元素谱线表
附录G 能谱、波谱分析中常用的有关标准
附录H 能谱仪用的 ...
