二次离子质谱分析技术及其应用综述
二次离子质谱(Secondary Ion Mass Spectrometry,缩写符号为
SIMS)是一种通过用质谱法分析一次离子溅射产生的正、负二次离子
获得样品表面元素、同位素、化合物组分和分子结构以及一定的晶体
结构信息,扫描一次离子束或直接成像可以得到各种成分的而分布图
象,逐层剥蚀还可以得到各种成分的深度分布,从而得到三维成分分
布信息。SIMS以其很高的灵敏度、很宽的动态范围和优良的深度分
辨己逐步发展成为一种很有特色的表而分析手段。
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