现代光学薄膜技术 唐晋发 顾培夫等著

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现代光学薄膜技术 唐晋发 顾培夫等著 浙江大学出版社,2006年出版 本书第一篇主要介绍光学薄膜特征的理论计算、光学多层膜的设计理论和技术,由唐晋发教授编写。第二篇主人介绍光一膜的制造技术,包括以物理气相淀积技术为代表的成膜技术,涵盖真空设备、薄膜材料、制备参数控制技术、薄膜厚度监控技术、膜厚均匀性以及制备参数对薄膜微观结构影响等。第三篇主要介绍薄膜光学特性与光学常数的检测技术、薄膜机械性能的评价技术等。由于光学薄膜技术又是一门交叉性很强的学科,涉及到光电技术、计算机、真空技术、材料科学、自动控制技术等领域,为了满足部分来自不同领域的光学薄膜工作者学习本书的需要,增加了一个附录,主要介绍几个数学物理基础理论。 3hwr|20[/pan]

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