半导体制造中的质量可靠性与创新 简维廷等编著
本书是由集成电路行业质量与可靠性管理领域的国际知名学者,中芯国际集成电路制造有限公司副总裁简维廷、郭位院士(美)、张启华等专家编著的一本阐述质量与可靠性工程在集成电路制造中的实际应用的专著。 书中系统、深入地介绍了从设计、制造评估到使用实际工程中各个环节的质量与可靠性问题,并将作者独到的创新理念融入于整个书中。全书共4章。第1章简要介绍了中国集成电路产业目前发展的状况及趋势,以及集成电路制造过程中,质量与可靠性管理工作主要涵盖的内容。第2~4章,分别针对质量、可靠性和失效分析(Failure Analysis,FA)三大课题,通过大量的实用案例,以及作者在管理和工程上积累的众多创新经验和创新理念,阐述了如何在透彻了解理论知识的基础上,将这些知识应用于实际的生产线和产品的质量与可靠性管理。
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