惯性MEMS器件原理与实践 沃克尔·肯普著

惯性MEMS器件原理与实践 沃克尔·肯普著 通过基于MEMS 的惯性传感器的设计、制作与测试进行实用性与系统性的概述这本综合、严密的手册展示了如何对应用需求进行分析并将其转变为切实可行的设计同时帮助人们避免潜在的错误缩短设计时间读者通过对本书的阅读将会迅速掌握相关基 [1] 本原理包括MEMS 工艺、封装、运动学与机械学以及换能器等也能够全面评判设计用的不同方法与结构纵览测试与校准的关键内容这本书描述了惯性MEMS 器件领域的最新状态对真实世界应用中制造传感器所面临的实践性困难拥有独到的见解为工业领域中的专业工程师、管理者以及应用工程师提供了理想的资源也适用于希望对该领域进行充分了解的学生Volker Kempe 在学术界和工业界有着40 多年的研究与开发经验他曾领导Austria Mikro Systems 的微电子工程系达10 年之久 2003 年Volker Kempe 与人合作创立了SensorDynamics AG 公司并担任公司副总裁他现在的研究方向为惯性MEMS 器件的功能、工艺与应用 提取码参见隐藏部分|123[/pan] 提取码