薄膜体声波谐振器的原理、设计与应用 陈亚非等著
随着薄膜与微纳制造技术的发展，电子器件正向微型化、高密集复用、高频率和低功耗的方向迅速发展。近年来发展起来的薄膜体声波谐振器（FBAR）的工作频率比传统声表面波（SAW）器件、石英晶体谐振器和陶瓷介质器件都要高（可达1-10GHz），又具有体积小、Q值更高、损耗低、功率承载性好、换能效率高等优点。可以制成高性能滤波器、双工器、振荡器等多种射频集成微波器件和高灵敏传感器等，在新一代无线通信系统和超微量生化检测领域具有广阔的应用前景。张亚非和陈达合著的这本《薄膜体声波谐振器的原理设计与应用》系统地阐述了FBAR的基本原理、设计方法、关键技术及其材料体系的要求，并对FBAR的重要应用技术进行了总结概括与深入分析。《薄膜体声波谐振器的原理设计与应用》可供从事谐振器理论和器件研究开发的专业技术人员阅读，也可供高等院校电子信息、通信系统、传感器检测、微电子学、微机电系统（MEMS）、自动化等领域的科技人员和相关专业师生阅读参考
wq43|100[/pan]
