Mo基体上金刚石薄膜及过渡层的X射线掠入射研究

仪器资料 · 发表于 2018-7-6 17:46:13

Mo基体上金刚石薄膜及过渡层的X射线掠入射研究
金刚石薄膜是一种重要的薄膜材料。
􀂄由于金刚石具有很多优异的性能，它是已知物质中硬度和弹性模量最大的，具有极高的电阻率，极高的热导率，极低的线膨胀系数等等，
􀂄使得金刚石薄膜在工具材料，高功率电子元件的散热器件材料，以及光学窗口材料等领域具有非常广泛的应用。

对于金刚石薄膜材料而言，其厚度是一个十分重要的参数；
􀂄另外研究金刚石薄膜与衬底之间过渡层的结构有助于对金刚石薄膜成核及生长机理的研究。􀂄本研究是利用目前X射线衍射仪新型的平行光附件，用其产生的近似平行的X射线光源；
􀂄以掠入射衍射的方法，研究了Mo基体上生长的金刚石薄膜及过渡层的物相结构，
􀂄并根据材料对X射线的吸收衰减效应，利用基体的衍射强度在不同掠入射角时衍射强度的变化，对薄膜的厚度进行了测定。

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