空氣中氣態氟化物與硼矽玻璃管（註1）內壁塗覆之碳酸氫鈉反應，而微粒氟化物則收集 於濾紙上。玻璃管上所收集之氟化物以水或緩衝劑沖提後分析之；而濾紙所採集之氟化物則 以酸溶出後進行分析之。其分析結果不論氣態或微粒氟化物，皆以 0℃，101.3 kPa 下之 μg/m3 表示。
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