微机电系统设计与加工 盖德著

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微机电系统设计与加工 盖德著 本书是MEMS系列图书的一本,主要介绍MEMS技术中材料和加工方面的知识。内容包括:MEMS中的材料,MEMS制造,LIGA及其微模压,基于X射线的加工,EFAB技术及其应用,单晶SiC MEMS制造、特性与可靠性,用于碳化硅体微加工的等离子体反应深刻蚀,聚合物微系统:材料和加工,光诊断方法考察微流道的入口长度,应用于航空航天的微化学传感器,恶劣环境下的MEMS器件封装技术,纳机电系统制造技术,分子自组装基本概念及应用。 提取码参见隐藏部分|120[/pan] 提取码

阅读:1251 | 评论:3网友评论:

  • haitianmulan 发表于 2019-9-15 07:01:40
    我帶著醬油瓶路過一起下吧的,還是忍不住小手一抖!
  • puton 发表于 2019-8-13 15:59:31
    确实是难得好帖啊,讓我涕流滿面,頂頂一起下吧先
  • yougikon 发表于 2019-7-20 13:55:12
    我帶著醬油瓶路過一起下吧的,還是忍不住小手一抖!

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