微机电系统设计与加工盖德著

书籍推荐 · 发表于 2019-7-1 23:37:52

微机电系统设计与加工盖德著
本书是MEMS系列图书的一本，主要介绍MEMS技术中材料和加工方面的知识。内容包括：MEMS中的材料，MEMS制造，LIGA及其微模压，基于X射线的加工，EFAB技术及其应用，单晶SiC MEMS制造、特性与可靠性，用于碳化硅体微加工的等离子体反应深刻蚀，聚合物微系统：材料和加工，光诊断方法考察微流道的入口长度，应用于航空航天的微化学传感器，恶劣环境下的MEMS器件封装技术，纳机电系统制造技术，分子自组装基本概念及应用。
微机电系统设计与加工盖德著- 一起下吧

第1章绪论
第2章 MEMS中的材料
参考文献
第3章 MEMS制造
第4章 LIGA及其微模压
第5章基于X射线的加工
第6章 EFAB技术及其应用
第7章单晶SiC MEMS制造、特性与可靠性
第8章用于碳化硅体微加工的等离子体反应深刻蚀
第9章聚合物微系统：材料和加工
第10章光诊断方法考察微流道的入口长度
第11章应用于航空航天的微化学传感器
第12章恶劣环境下的MEMS器件封装技术
第13章纳机电系统制造技术
第14章分子自组装基本概念及应用
参考文献