TEM透射电镜原理及其示例分析

仪器资料 · 发表于 2017-7-11 11:01:06

TEM透射电镜原理及其示例分析
TEM是以波长极短的电子束作为照明源,用电磁透镜聚焦成像的一种高分辨本领、高放大倍数的电子光学仪器。
照明系统
1.组成
电子枪、聚光镜和相应的平移对中、倾斜调节装置。
2.作用
提供一束亮度高、照明孔径角小、平行度好、束流稳定的照明源。
3.电子枪
（1）常用热阴极三极电子枪
（2）它由发夹形钨丝阴极,
栅极帽和阳极组成。

4.聚光镜
(1)用来会聚电子枪射出的电子束,以最小的损失照明样品,
调节照明亮度,孔径角和束斑大小。
（2）一般采用双聚光镜系统

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