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一起下吧»论坛 › 仪器类资料专区 › 质谱仪器资料专区 › ICP-MS仪器资料 › 安捷伦 7500cs ICP-MS测定半导体级磷酸中痕量金属杂质应 ...
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安捷伦 7500cs ICP-MS测定半导体级磷酸中痕量金属杂质应用

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楼主
popov   发表于 2018-8-31 15:11:14 |栏目：仪器资料
  • 资料类型 ：应用方法 
  • 资源级别： 三星以上
  • 文件类型 ： pdf 
  • 适合人群 ： 初学者
  • 关联厂家 ： 安捷伦
  • 仪器型号： 7500cs ICP-MS
安捷伦 7500cs ICP-MS测定半导体级磷酸中痕量金属杂质应用
采用新型高灵敏度碰撞/反应池电感祸合等离子体质谱
(ICP-MS)测定了半导体级磷酸中的金属杂质.将85%
(W/W)磷酸(H3PO4)稀释100倍，安捷伦7500cs ICP-MS
仪器分析了磷酸规范和指南(SEMI C36-0301)中所规定的所
有元素，该仪器采用可消除多原子离子干扰的八极杆反应池系
统(ORS)为特色的。通过在碰撞/反应池内加入简单的气体，
如氢气成氦气，可以容易地消除所有等离子体本身和样品基体
所产生的多原子离子对诸如Ca, Fe, Ti, Co, Ni, Cu和Zn
等目标元素的干扰，同时对那些不采用池气体模式测定的其它
所有元素仍保持很高的灵敏度。安捷伦7500cs所具有的屏蔽
炬系统(STS)和新的离子透镜系统对样品中所有元素具有卓
越的信号/背景比，从而得到杰出的方法检出限((0.06-28ppt),
0.85比PO冲50ppt多元素标准加入所得到的优秀回收率证
明了安捷伦7500cs ICP-MS测定磷酸中SEMI所规定的痕量
元素的适用性和准确性。
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安捷伦, 7500cs, ICP-MS, 半导体级磷酸, 痕量金属杂质

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stupid123

氦级
沙发
stupid123   发表于 2018-9-17 21:32:55 |栏目：仪器资料
啥也不说了，感谢一起下吧和楼主的分享哇！

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liutaosfan

氦级
板凳
liutaosfan   发表于 2018-10-5 18:54:22 |栏目：仪器资料
珍惜生命，果断回帖；酌一杯清茶，品一起下吧资源

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asssyl

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地板
asssyl   发表于 2018-10-23 08:11:34 |栏目：仪器资料
这个資源一般般，不過我喜歡

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yzh093

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5#
yzh093   发表于 2018-11-12 17:04:32 |栏目：仪器资料
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th_710314

氦级
6#
th_710314   发表于 2018-12-4 06:33:45 |栏目：仪器资料
确实是难得好帖啊，讓我涕流滿面，頂頂一起下吧先

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xiaolaoshu

氖级

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7#
xiaolaoshu   发表于 2018-12-22 09:36:20 |栏目：仪器资料
额，為神馬現在才發現一起下吧的資源啊~@_@

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zgh1234

氦级
8#
zgh1234   发表于 2019-1-11 14:05:01 |栏目：仪器资料
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55666701

氦级
9#
55666701   发表于 2019-2-2 15:44:02 |栏目：仪器资料
這個資源非常需要，支持一起下吧！

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bxm-bxm

氦级
10#
bxm-bxm   发表于 2019-2-25 10:53:21 |栏目：仪器资料
确实是难得好帖啊，讓我涕流滿面，頂頂一起下吧先

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