常见扫描电子显微镜图像的缺陷和解决方法

仪器资料 · 发表于 2017-8-2 15:41:02

常见扫描电子显微镜图像的缺陷和解决方法

唐晓山,屈菊兰
(湛江师范学院电镜室,广东湛江524048)
摘　要:在论述了荷电效应、损伤、边缘效应这三种常见的扫描电子显微镜图像缺陷的基础上,
分析了其产生的原因及解决方法,并展示了其结果.

扫描电子显微镜最基本的成像功能是二次电子成像. 它主要反映样品表面的立体形貌. 由于
样品的高低参差、凹凸不平,电子束照射到样品上,不同点的作用角不同,因此造成激发的二次电
子数不同;再由于入射方向的不同,二次电子向空间散射的角度和方向也不同,因此在样品凸出
部分和面向检测器方向的二次电子就多些,而样品凹处和背向检测器方向的二次电子就少一些;
总之,样品的高低、形状、位置、方向等这些与表面形貌密切相关的性质,变成了不同强度的二次
电子信息. 电子束逐点扫描产生不同数量的二次电子,依次在荧光屏上显示出亮暗不同的点,也
就是相应的象素. 再由这些象素组成了完整的二次电子图像.

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