介绍详细的XPSX射线光电子能谱原理及分析课件

仪器资料 · 发表于 2017-8-2 15:45:00

电子能谱学的定义
电子能谱学可以定义为利用具有一定能量的粒子（光子，电子，粒子）轰击特定的样品，研究从样品中释放出来的电子或离子的能量分布和空间分布，从而了解样品的基本特征的方法。
入射粒子与样品中的原子发生相互作用，经历各种能量转递的物理效应，最后释放出的电子和粒子具有样品中原子的特征信息。
通过对这些信息的解析，可以获得样品中原子的各种信息如含量，化学价态等。

电子能谱学与其它学科的关系
现代电子能谱学已经发展为一门独立的，完整的学科。
但电子能谱学也同样是与多种学科交叉和融合的。
总的来说，电子能谱学融合了物理学，电子学，计算机以及化学。它是这些学科发展的交叉点，涉及到固体物理，真空电子学，物理化学，计算机数据等。

XPS引言
K.Siegbahn给这种谱仪取名为化学分析电子能谱(ElectronSpectroscopyforChemicalAnalysis)，简称为“ESCA”，这一称谓仍在分析领域内广泛使用。
60年代以来，随着微电子，超高真空以及计算机技术的发展，以及新材料对表面分析的需求，逐渐形成了X射线光电子能谱。60年代开始研究仪器，70年代，商用仪器。目前，已开发出的小面积X射线光电子能谱，大大提高了XPS的空间分辨能力。
多功能，小面积，自动化。

XPS 特点
XPS的主要特点是它能在不太高的真空度下进行表面分析研究，这是其它方法都做不到的。当用电子束激发时，如用AES法，必须使用超高真空，以防止样品上形成碳的沉积物而掩盖被测表面。X射线比较柔和的特性使我们有可能在中等真空程度下对表面观察若干小时而不会影响测试结果。
此外，化学位移效应也是XPS法不同于其它方法的另一特点，即采用直观的化学认识即可解释XPS中的化学位移，相比之下，在AES中解释起来就困难的多。

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