SEM扫描电镜的基本原理及图像实例分析

仪器资料 · 发表于 2017-6-18 23:24:14

SEM扫描电镜的基本原理及图像实例分析

引言
一、仪器发展简史
二、扫描电子显微镜成象原理
三、扫描电镜的几种主要图象方式
四、仪器的简单结构
五、仪器的特点

在扫描电镜（SEM）中，人们最感兴趣的信号是二次电子和背散射电子，因为当电子束在样品表面扫描时，这些信号随表面形貌不同而发生变化。二次电子的发射局限于电子束轰击区附近的体积内，因而可获得相当高分辨率的图象。象的三维形态起因于扫描电镜的大景深和二次电子反差的阴影起伏效果。象的三维形态起因于扫描电镜的大景深和二次电子反差的阴影起伏效果。其它的信号在许多情况下也同样有用。在通常称为电子探针的电子探针显微分析仪（EPMA）中，人们最感兴趣的辐射是由于电子轰击而发射的特征X射线，从特征X射线的分析能够得到样品中直径小到几微米区域内的定性和定量成分信息。

扫描电镜的简要历史
扫描电镜是用于检验和分析固体微观结构特征的最有用的仪器之一。它所以如此有用，其主要理由是：可以获得高的图象分辨率。对商品型仪器，通常的指标优于100Å，最先进的仪器目前可达25Å，这是采用场发射电子枪获得的重要改进。场发射电子枪是具有很高的亮度和很小的电子源。另一个主要特点是扫描电镜的图象反映了样品三维的形貌特征，这是它具有大的焦深的直接结果。通过电子和样品的互作用可以研究样品的结晶学，磁学和电学特性。

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