扫描电子显微镜观测指南A guide to scanning microscopy observation

仪器资料 · 发表于 2018-7-2 08:56:57

目录
前言

1．图像干扰类型 2
2．由电子探针和试样的相互作用引起的图像改变 2
2-1 加速电压对图像质量的影响 2
2-2 束流、束斑直径和图像质量 4
2-3 边缘效应对图像质量的影响 5
2-4 试样倾斜的利用 6
2-5 背散射电子信号的利用 7
2-6 充电对图像质量的影响 9
2-7 电子束对样品的破坏 12
2-8 污染 12
3．操作技术、样品制备技术、外部干扰等对图像质量的影响 13
3-1工作距离和物镜光阑 13
3-2 像散的影响 14
3-3．显微图片对比度和亮度的优化 16
3-4．为获得X-ray图像的曝光时间 17
3-5．外部干扰对图像质量的影响 17
3-6 试样制备过程中的变形和杂质沉积 18
3-7 图像畸变及其原因 19
3-8 涂层 20
4．由于设备缺陷导致的干扰 22
4-1．灯丝预热不够 22
4-2．不正确的像散和物镜光阑对中 23
4-3．探头的10KV放电 23
4-4．烧坏或肮脏的CRT表面 24
技术术语： 24