SEM操作培训之参数优化和图像质量控制

仪器资料 · 发表于 2017-8-2 07:57:09

SEM操作培训之参数优化和图像质量控制

实作训练：
1. 独立完成样品装卸和获取图像。
2. 分别变化以下参数，记录图像并且分析图像质量和改进方法。
2）束斑尺寸；spot3; spot3.8; spot4.5; spot6
3）灯丝电流；观察灯丝电流饱和过程的变化，找到最佳点。
4）扫描速度；TV; slow1; slow3, slow4; F2
5）电压；30kV; 20kV; 10kV; 5kV; 1kV
6）工作距离；WD30; WD20; WD15; WD10
7）探头选择；SE; BSE; GSE;
8）消除像散。拍摄10,000x下清晰照片。
3. 样品台自动控制；样品台的垂直运动，水平运动，样品台倾转。
4. 拍摄规定样品图像，理解工作距离和放大倍数对景深的影响。