SEM操作培训之背散电子像和高倍图像获取

仪器资料 · 发表于 2017-8-2 15:58:28

1. 设定不同背散电子探头参数，观察参数对图像质量的影响。改变电压、工作距离和束斑尺寸，观察图像变化。
2. 拍摄同一视场的二次电子像和背散电子像，观察背散电子像的图像特点。
3. 控制参数获取清晰高倍图像的实作训练。
分别拍摄不同放大倍数的图像1000x; 5000x; 10,000x; 20,000x; 40,000x
 调节电压（30kV; 20kV; 10kV; 5kV; 1kV），保持WD10, spot3.5
 工作距离(WD20; WD10; WD7.5)，保持20kV, spot3.5
 束斑尺寸(Spot5; spot4; spot3.5；spot3; spot2.5), 保持WD10，20kV

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