SEM及AFM校准放大倍率标样的研究

仪器资料 · 发表于 2017-6-18 23:21:49

SEM及AFM校准放大倍率标样的研究

　　在进入21 世纪的今天,随着纳米科技、生命科
学的蓬勃发展,透射电子显微镜、扫描电子显微镜、
扫描隧道显微镜、原子力显微镜已广泛应用于实验
室基础科学研究、产品研制开发的数据采集和生产
过程中的质量控制。但在这些仪器的使用中,往往
并不知道所提供的数据与正确值的偏离量。现在越
来越多的质量保证体系,如ISO9000 系列等,要求获
得的数据具有量值溯源性。为了使在这些仪器上获
得的数据符合质量体系的要求, 标准参考物质
(SRM) 及二级标准物质(SSM) 对仪器的校验将起到
很重要的作用。
目前,国际上提供这类标准参考物质的有英国
的Agar 科学公司的2160线Pmm 和19 线Pmm 的方格
标准样品[1 ] ;美国国家标准技术研究院研制的标准
参考物质SRM484g[2 ] (该标准参考物质是用薄的金
(Au) 层分别镶嵌在厚015μm ,1μm ,3μm ,5μm 的金属
镍(Ni) 层之间,制成的剖面抛光标准样品,专门用于
校准扫描电子显微镜放大倍率) 等。
此外,由于分散标准球形粒子的图像边缘模糊
和失真,很难定义它真正的边界[3 ] ,给测量粒径带来
困难。紧密排列标准球形粒子在显微镜下测量时具
有边界确定的优点,所以美国国家标准技术研究院
研制了粒径为10μm 紧密排列的标准粒子的标准参
考物质SRM1965[4 ] , 用于光学显微镜的放大倍率
校准。
我们采用美国Duke 科学公司提供的有证标准
球形粒子研制成粒径分别为012μm ,013μm ,015μm ,
1μm 的排列球形粒子标准样品,可用来校准扫描电
子显微镜、原子力显微镜的放大倍率。