带你入门之普及SEM的基本知识

仪器资料 · 发表于 2017-6-12 16:49:21

带你入门之普及SEM的基本知识主要是从扫描电镜的原理、特点、构造以及主要指针和试剂制备来阐述的，虽然文字不多，但如果你是刚接触sem的童鞋是个很好的认识。

扫描电子显微镜的工作原理
扫描电镜是用聚焦电子束在试样表面逐点扫描成像。试样为块状或粉末颗粒，成像信号可以是二次电子、背散射电子或吸收电子。其中二次电子是最主要的成像信号。由电子枪发射的能量为 5 ～ 35keV 的电子，以其交叉斑作为电子源，经二级聚光镜及物镜的缩小形成具有一定能量、一定束流强度和束斑直径的微细电子束，在扫描线圈驱动下，于试样表面按一定时间、空间顺序作栅网式扫描。聚焦电子束与试样相互作用，产生二次电子发射（以及其它物理信号），二次电子发射量随试样表面形貌而变化。二次电子信号被探测器收集转换成电讯号，经视频放大后输入到显像管栅极，调制与入射电子束同步扫描的显像管亮度，得到反映试样表面形貌的二次电子像。

请点击此处下载

请先注册会员后在进行下载

已注册会员，请先登录后下载