GB/T 14601-2009 电子工业用气体氨

标准资料 · 发表于 2017-7-11 18:38:32

GB/T 14601-2009 电子工业用气体氨
本标准代替GB/T 14601 → 1993(( 电子工业用气体氨》。
本标准与GB/T 14601-1993 相比主要变化如下:
一二修改标准的名称;
一一修改适用范围CGB/T 14601-1993 的第1 章，本版的第1 章) ;
一一-修改规范性引用文件CGB/T 14601一1993 的第2 章，本版的第2 章) ;
一~一修改技术指标内容CGB/T 14601-1993 的第3 章，本版的第3 章) ;
一一增加对氨尾气处理的要求(见4.3) ;
一一删去按GB 5831 规定的方法测定氧含量CGB/T 14601-1993 的4.2.1) ;
一一修改氧、氮、一氧化碳含量的测定CGB/T 14601 二1993 的4.2 、4.3 、4.4 ，本版的4.4);
二一增加氢、氧含量的测定(见4.4);
-一增加二氧化碳含量的测定(见4.4);
二一修改娃含量的测定CGB/T 14601-1993 的4.5 ，本版的4.4);
一一+修改水含量的测定方法CGB/T 14601-1993 的4.6 ，本版的4.5) ;
十一增加金属离子的测定方法(见4.6) ;
二一修改标志、包装、贮运及安全CGB/T 14601一1993 的第6 章、第7 章，本版的第5 章) ;
一一增加规范性附录A ，并把采用氮放电离子化气相色谱法测定氨中的氢、氧(氢)、氮、一氧化碳、
二氧化碳和短CC1 ，...__ C3 ) 含量组分的方法写入该附录(见附录A) 。
本标准的附录A 为规范性附录。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出。

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