电子工业用气体四氟化碳

标准资料 · 发表于 2018-9-14 09:19:54

电子工业用气体四氟化碳
本标准规定了瓶装电子工业用气体— 四氟化碳的技术要求、试验方法、检验规则及
标志、包装、运输、贮存和安全的要求。
本标准适用于氟和碳直接反应化合生成并经过纯化处理的四氟化碳产品。它主要用
于微电子工业中等离子体工艺等离子体刻蚀和化学气相，以及太阳能硅片生产工艺。
分子式： CF 4
分子量： 88 . 0 0（按20 0 3年国际原子相对质量）。

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标准资料 · 发表于 2019-4-13 03:03:28

额，為神馬現在才發現一起下吧的資源啊~@_@

电子工业用气体 四氟化碳

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