电子工业用气体氟及氟氮混合气

标准资料 · 发表于 2017-8-24 15:31:33

电子工业用气体氟及氟氮混合气

本标准是根据中国特种气体发展规划，总结国内制氟的经验和技术，在参照采用了国外先进标准并结合
我国特种气体的实际情况制订。
本标准由全国半导体材料和设备技术委员会提出。
本标准由全国半导体材料和设备技术委员会气体分会归口。

范围
本标准规定了氟和氟氮混合气的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于电解无水氢氟酸经过纯化工艺处理后获得的氟。氟用于制备氟化、激光气等。
分子式：F2。
相对分子质量：37.9968064（按2005年国际相对原子质量计算）。
2 规范性引用文件
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的
修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究
是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。
GB 190 危险货物包装标志
GB/T 3723 工业用化学产品采样安全通则
GB 5099 钢质无缝气瓶（GB 5099-1994，neq ISO4705:1993）
GB 7144 气瓶颜色标记
GB/T 8984 气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定气相色谱法
GB 11640 铝合金无缝气瓶
GB 14193 液化气体气瓶充装规定
《气瓶安全监察规程》

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标准资料 · 发表于 2017-11-10 19:52:36

珍惜生命，果断回帖；酌一杯清茶，品一起下吧资源

标准资料 · 发表于 2018-10-7 05:08:33

這麼好的帖子都沒有人頂！d=====(￣▽￣*)b，我來多頂頂樓主

电子工业用气体 氟及氟氮混合气

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