GB/T 15909-2009 电子工业用气体硅烷(SiH4)

标准资料 · 发表于 2017-7-13 11:00:19

GB/T 15909-2009 电子工业用气体硅烷(SiH4)
本标准代替GB/T 15909 一--1995(( 电子工业用气体硅烧》。
本标准与GB/T 15909--1995 相比主要变化如下:
一→一修改规范性引用文件(GB/T 15909→ 1995 的第2 章，本版的第2 章) ;
→一修改技术指标内容:增加一类产品纯度和杂质含量，用Cl 表示氯化物总量(GB/T 15909-一
1995 的3. 1，本版的3. 1);
一二修改电性能规格(GB/T 15909-1995 的3.2 ，本版的3.3) ;
二一增加硅炕的采样安全要求(见4. 1. 2) ;
一←增加对硅烧尾气处理的要求(见4.3) ;
---修改一氧化碳、二氧化碳、氧和氮含量的测定(GB/T 15909--1995 的4.2 、4.6 ，本版的4.4) ;
一-修改测定氯化物含量所用试剂和溶液的内容(GB/T 15909← 1995 的4.3.4 ，本版的4.5.4) ;
一一-修改测定氯化物含量结果处理公式(GB/T 15909-1995 的4.3.6 ，本版的4.5.6) ;
一一增加其他方法测定氯化物含量(见4.5.7) ;
一一修改短(C1 ，...__ C3 ) 含量的测定(GB/T 15909→-1995 的4.4 ，本版的4.6);
一二增加其他方法测定氢含量(见4.7.6) ;
一-增加其他方法测定水含量(见4.8);
一-一增加微量甲硅酶，乙硅烧和甲基硅烧含量的测定(见4.9) ;
←一增加金属离子含量的测定(见4.10) ;
→一修改标志、包装、贮运及安全(GB/T 15909一1995 的第5 章，本版的第5 章)。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出。

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