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电子工业用气体硒化氢

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ttnba 发表于 2018-11-15 20:44:33 |栏目：标准资料

标准类型：其他标准
标准状态：起草中的标准
标准约束：强制性标准
标准代号：电子工业用气体硒化氢
实施时间：
发布单位：

电子工业用气体硒化氢
本标准规定了电子工业用气体硒化氢的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安
全。
本标准适用于硒铝、硒镁合金化合物水解、单质硒与氢高温反应等方法获得并经精制
得到的硒化氢产品。它主要用于太阳能电池、半导体器件和集成电路生产的外延、离子
注入和掺杂。
分子式：H2Se。
相对分子质量：80.97588（按2005年国际相对原子质量计算）。

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电子工业用气体, 硒化氢

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