GB/T 15909-1995 电子工业用气体硅烷

标准资料 · 发表于 2017-7-10 17:05:13

本标准是根据SEMI C3. 19-93<< 钢瓶装氢标准))(95 年版)制定的，在技术要求上与之等同，试验方
法与之等效。
在将SEMI C3. 19-93 转化为本国标准时，结合我国实际情况，删去了SEMI C3. 19-93 中仅作为
参考的说明和物理常数及注释等内容，试验方法中增加了抽样、采祥和氢气纯度兰条，除氮含量的测定
采用SEMI C3. 19-93 的方法外，其余各项杂质含量的测定分别采用我国相应的通用试验方法国家标
准，同时对检测限和标样要求按SEMI 标准规定进行了适当的调整。以上变动与SEMI 标准无实质性差
异，使标准技术内容更加完整。

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