GB/T18867-2002电子工业用气体六氟化硫

标准资料 · 发表于 2017-7-10 17:22:51

分子式：SF6
分子量：146.05（按1999 年国际原子相对质量）
1 范围
本标准规定了电子工业用气体六氟化硫产品的技术要求、分析方法、检验规则以及包装、
标志、运输、贮存和安全要求。
本标准适用于硫与氟反应生成并经精制和纯化制备的高纯度六氟化硫。该产品主要用作
等离子蚀刻剂、掺杂剂、电子元器件的外延气或稀释载气等。
2 规范性引用文件
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其
随后所有的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标
准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新
版本适用于本标准。
GB 190 危险货物包装标志
GB 5099 钢质无缝气瓶（neq ISO 4705）
GB/T 5832.1 气体中微量水分的测定电解法
GB/T 5832.2 气体中微量水分的测定露点法
GB 7144 气瓶颜色标记
GB/T 8984.1 气体中一氧化碳二氧化碳和甲烷的测定气相色谱法
GB 11640 铝合金无缝气瓶
GB 12022-1989 工业六氟化硫（neq IEC 376A:1973）
《气瓶安全监察规程》