GB/T16945-1997电子工业用气体氩气

标准资料 · 发表于 2017-7-10 17:14:33

本标准是根据SEMI C3. 46-93(( 99. 999 2 %质量的散装液置标准>> (95 年版)制定的，在技术要求
上与之等同，试验方法与之等效。
在将SEMI C3. 46-93 转化为国家标准时，结合我国实际情况，将适用范围扩大至瓶装置气和管道
输送的氧气，删去SEMI C3. 46-93 中仅作为参考的说明、物理常数及注释等内容，试验方法中增加抽
样和氧气纯度两条，除氢、氮含量的测定采用SEMI C3. 46→93 的方法外，其余各项杂质含量的测定分
别采用我国相应的通用试验方法国家标准，同时对检测限和标样要求按SEMI C3. 46-93 的规定进行
适当的调整。以上变动与SEMI C3. 46-93 无实质性差异，使标准的技术内容更加完整。

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