GB/T16943-1997电子工业用气体氦气

标准资料 · 发表于 2017-7-10 17:09:38

本标准是根据SEMI C3. 20→θ2(( 钢瓶装氮标准))(1 995 年版)制定的，在技术要求上与之等同，检验
方法与之等效。
在将SEMI C3. 20~92 转化为本国家标准时，结合我国的实际情况，删去了SEMI C3. 20~92 中仅
作为参考的物理常数和注释等内容，试验方法中增加了抽样和氮气纯度两条，各项杂质含量的测定，分
别采用我国相应的通用试验方法国家标准，同时对检测限和标样要求按SEMI 标准规定进行了适当的
调整。以上变动与SEMI 标准无实质性差异，并使标准的技术内容更加完整。

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