GB/T 14600-2009 电子工业用气体氧化亚氮

标准资料 · 发表于 2017-7-13 10:54:49

GB/T 14600-2009 电子工业用气体氧化亚氮
本标准代替GB/T 14600-1993(( 电子工业用气体氧化亚氮》。
本标准与GB/T 14600二1993 相比主要变化如下:
一一一修改电子工业用氧化亚氮的适用范围CGB/T 14600二1993 的第1 章，本版的第1 章) ;
一二修改规范性引用文件CGB/T 14600一1993 的第2 章，本版的第2 章) ;
→一一修改技术指标内容CGB/T 14600→ 1993 的第3 章，本版的第3 章) ;
一一-增加电子工业用氧化亚氮采样安全要求(见4. 1. 2) ;
二一增加尾气处理的要求(见4.3) ;
一一修改一氧化碳、二氧化碳、短C1 ，-， C5 、氮、氧含量检验方法的检测限和标准样品的规定
CGB/T 14600-1993 的4.4 、4.5 、4.6 、4.7 、4.8 ，本版的4.5 、4.6 、4. 7 、4.8);
二二修改水分含量的检验方法CGB/T 14600→ 1993 的4.7 ，本版的4.11);
→←修改标志、包装、贮运及安全CGB/T 14600-1993 的第6 章、第7 章，本版的第5 章)。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出。

请点击此处下载

请先注册会员后在进行下载

已注册会员，请先登录后下载