GB/T21287-2007电子工业用气体三氟化氮

标准资料 · 发表于 2017-7-10 17:27:02

本标准根据SEMI(半导体材料和设备国际组织)的《三氟化氮》（SEMI C3.39—0304）2004 年版标
准，并结合我国三氟化氮生产的实际情况制订。
本标准的附录C 为规范性附录，附录A、附录B、附录D 为资料性附录。
本标准由全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会（SAC/TC 203/SC1）提出并归口。
本标准由湖北沙隆达天门农化有限责任公司、中国船舶重工集团公司第七一八研究所负责起草。
本标准参加起草单位有：核工业理化研究院特气中心、中核红华特种气体有限公司、黎明化工研究
院、国家标准物质研究中心、西南化工研究设计院等。

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